用电测法测量非电学量时,首先必须将被测的非电学量转换为电学量而后输入之。通常非电学量变换成电学量的元件称为变换器;根据不同非电学量的特点设计成的有关转换装置称为传感器,而被测的力学量(如位移、力、速度等)转换成电容变化的传感器称为电容传感器。
电容传感器,英文名称为capacitive type transducer,三同轴电容传感器,是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成,三同轴电容传感器,在压力作用下,薄膜产生一定的形变,上下级间距离发生变化,导致电容变化,北京三同轴电容传感器,但电容并不随较间距离的变化而线性变化,其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。
电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点,广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量中。但在使用中要注意以下几个方面对测量结果的影响:①减小环境温度、湿度变化(可能引起某些介质的介电常数或较板的几何尺寸、相对位置发生变化);②减小边缘效应;③减少寄生电容;④使用屏蔽电极并接地(对敏感电极的电场起保护作用,与外电场隔离);⑤注意漏电阻、激励频率和较板支架材料的绝缘性。