纳米级位移测量,善测科技公司

　纳米级重复定位精度**精密传动、驱动控制技术。为了实现光学级的确定性**精密加工，机床必须具有纳米级重复定位精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因数，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，纳米级位移测量，采用气浮、液浮等无静摩擦效应轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。伺服运动控制器除了高分辨、高实时性要求外，控制算法模式也需不断进步。

微、纳米级高精度传感器的生产现场适应性更强，精度更高。RENISHAw的SP80**高精度数字式扫描测头，分辨率为0.02μm；ZEISS的VAST 三维六向扫描测头系统，采用平行片机构，分辨率为0.05μm，扫描范围达2mm。Werth的光纤测头，半径仅为12.5μm，号称世界较小，适用于**细、**精密工件的测量。

我国测量技术和相关仪器的研究取得了一系列重要进展，新型测量原理、测量技术、测量系统及仪器设备不断出现：新型传感原理及传感器、先进制造的现场、非接触、数字化测量，微纳米级**精密测量、**大尺寸精密测量、基标准及相关测量理论研究等方面都有了长足的发展。