纳米级位移测量系统、善测

非接触式位移传感器目前主要有电容式、电磁式、激光式、远红外、微波、超声波式。位移传感器目前被广泛应用于多个行业，因为应用环境的不同，所以需要应用不同功能特性的位移传感器。如测量米级的位移时就会用到短波长微波器件位移传感器，测量毫米级位移就会用到激光干涉法测量，而亚纳米级位移测量则会用到x射线衍射干涉法测量器件位移传感器产品。

从20世纪50年代至70年代，栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位不是像激光一样的光波波长，而是通用的米制(或英制)标尺。

电感式位移传感器KD5100是一种属于金属感应的线性器件，接通电源后，在开关的感应面将产生一个交变磁场，当金属物体接近此感应面时，金属中则产生涡流而吸取了振荡器的能量，使振荡器输出幅度线性衰减，然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。

光电式位移传感器ZLDS-N-100利用激光三角反射法进行测量，纳米级位移测量系统，对被测物体材质没有任何要求，主要影响为环境光强和被测面是否平整。比如公路测量用到真尚有的激光位移传感器，就对传感器进行了特殊配置，与普通情况不一样。