纳米级位移测量技术、善测、位移测量

在线在机测量技术成为大批量生产时保证加工质量的重要手段。计量型仪器进入生产现场、融入生产线，监控生产过程。仪器本身的可靠性、有效率、高精度以及质量统计功能、故障诊断功能进一步提高，满足了在线测量的要求。高精度数字化传感器的测量精度已实现从微米级向纳米级的提升；数字化测量仪器与机床集成进入生产现场，组成数字化加工系统：数控集成误差、工件毛坯安装误差及其环境误差的软件补偿技术得到进一步推广应用；非接触式扫描、视频测量技术和仪器备受重视；测量信息的无线传输和网络远程服务，进一步将被动型质量检测转换为主动型质量控制。美国Brown&Sharp公司的Bravo-NT 测量机可在汽车生产线上对车身尺寸实施在线测量并充分满足汽车生产线对测量节拍、测量精度和测量可靠性的要求；德国Kapp公司磨齿机的机载齿轮测量装置将测量系统和机床集成一体，可在工件试磨后马上进行在机检测，测量信息处理后能反馈至机床，高精度位移测量系统，及时修正加工参数。特别有利于大型、重型齿轮和大批量齿轮的成形磨削加工。

**高的定位精度，在**过厘米以上的运动范围内仍能保证纳米以下的定位精度。2016世界机器人大会上，由哈工大机器人集团研制的具备位移反馈传感器的纳米操作机器人引发了人们的关注。

纳米操作机器人具备位置检测传感器，位移测量，可实现自动可编程运动，纳米级位移测量技术，并具备多种功能强大的附加模块。与传统机器人相比，纳米操作机器人具有**级灵敏、**高精准等特点，高精度纳米级位移测量技术，可以在较微小尺度下完成传统机器人无法实现的各种观测、表征和操控作业，堪称“无微不至”。

纳米技术近年来一直是科技发展的制高点之一，加拿*程院院士、多伦多大学教授孙钰表示，过去的十年微纳机器人取得了巨大进展，在自动化控制、生物医学、纳米制造等领域都有许多重要的研究和突破。